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XRAY检测机 Products
产品名称: 基恩士3D测量仪VR-3200 3D轮廓测量仪
上市日期:2019-09-09
产品描述:
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型號

VR-3200

類型

量測頭

適用控制器

VR-3000K

觀察量測範圍

大视野模式

15 型螢幕上顯示倍率 12x

水平(H)

24mm




垂直(V)

18mm



15 型螢幕上顯示倍率 25x

水平(H)

12mm




垂直(V)

9mm



15 型螢幕上顯示倍率 38x

水平(H)

8mm




垂直(V)

6mm



15 型螢幕上顯示倍率 50x

水平(H)





垂直(V)

4.5mm


高倍率模式

15 型螢幕上顯示倍率 40x

水平(H)

7.6mm




垂直(V)

5.7mm



15 型螢幕上顯示倍率 80x

水平(H)

3.8mm




垂直(V)

2.9mm



15 型螢幕上顯示倍率 120x

水平(H)

2.5mm




垂直(V)

1.9mm



15 型螢幕上顯示倍率 160x

水平(H)





垂直(V)

1.4mm

鏡頭

1 至 4 倍

可量測高度

大視野模式:10mm(±5mm) 高倍率模式:1mm(±0.5mm)*1

顯示解析度

0.1 µm*2

重覆精度 (σ)

高度量測

0.5 µm*3


寬度量測

大視野模式:1 µm、高倍率模式:0.5 µm*3

量測精度

高度量測

±3 •µm*3


寬度量測

大視野模式:±5 µm、高倍率模式:±2 µm*3

影像連接功能

全自動(XY 自動控制+ 自動對焦)量測*4
自動調整、自動範本分析*4

載物台

XY 載物台移動量

184 × 88 mm(電動)


Z 載物台移動量

90 mm(電動)


旋轉角

±180°(試料旋轉載物台)


傾斜角

±30° 以上

動作距離

75 mm

影像擷取元件

1 型400 萬畫素黑白CMOS

投光鏡頭

雙重遠心鏡頭 ×2

受光鏡頭

雙重遠心鏡頭

照明系統

觀察用光源

環形 LED 照明(紅、綠、藍)


量測用光源

白光 LED

影像尺寸

1024×768 畫素、2048×1536 畫素

資料處理部份

KEYENCE 指定專用PC(OS 為 WINOOWs7)*5

額定

電源電壓

100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz


耗電量

150 VA

環境抗耐性

環境溫度

+15 至 +30 °C


相對濕度

35 至 80 % RH (無凝結)

重量

28.0 kg


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