系统放大倍率和分辨率 |
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几何放大倍率 | 2100x |
总放大倍率 | >23000x |
细节分辨率 | 小于1微米 |
亚微米X射线管 |
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类型 | 开放式微米管、透射管头、170度辐射角、准直功能 |
最大管电压 | 160KV |
最大管功率 | 20W |
靶 | 无毒载体钨靶，并可旋转以多次使用 |
灯丝 | 钨丝，经预调的即插式结构，更换简单快捷，20分钟内完成 |
真空系统 | 无油式低真空泵＋涡轮分子真空泵 |
探测器 |
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数字成像链 | 高分辨率4” 双视野图像增强器2M像素高分辨率数字相机 |
操控平台 |
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总体结构 | 高精度抗震动、5轴同步驱动 |
最大检测范围 | 410mm×410mm |
最大工件尺寸/重量 | 410mm×410mm/5kg |
ovhm-斜角视图旋转 | 可调视角70°，n×360° |
操控 | 操纵杆控制或鼠标(手动模式)和数控编程控制(自动模式) |
轴速(X-Y-Z) | 10μm/s到80mm/s |
操控辅助功能 | X射线影像导航图，点击移动功能，点击放大功能， 自动保持视野中心功能，激光定位瞄准 |
防碰撞系统 | 防止检测样品与射线管产生碰撞 |
图像处理软件 |
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phoenix x|act base | 全面的X射线图像分析软件 包含图像对比增强和滤波功能、测量功能、数控编程功能 |
bga|module | BGA焊点自动检测功能 |
vc|module | 空隙面积比自动计算，包括多芯片的贴装空隙检测功能 |
系统尺寸 |
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尺 寸 (W x H x D) | 1800mm×1900mm×1815mm（不包括控制台） |
高度可调控制面板 | 400mm |
最大重量 | 2050kg |
辐射安全防护 |
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全方位防护 | 铅钢防护结构与铅玻璃窗的安全屏蔽室 |
辐射泄漏剂量率 | <1μSv/h，符合国际标准 |
硬件选项 |
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倾斜/旋转装置 | 倾斜±45°和旋转n×360°，最大工件重量为2kg |
辅助定位装置 | 十字线激光 |
旋转台用PCB板支架装置 | 最大载板尺寸310mm×310mm (12'×12') |
XY-平台 | 增大检测区域为510mm×510mm (20'×20') (不使用旋转台) |